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世偉洛克隔膜密封閥系列
DP 系列無(wú)彈簧隔膜閥
■ 適合超高純度應(yīng)用
■316L VIM-VAR 不銹鋼閥體
■低壓和高壓兩種閥型
■VCR®、卡套管對(duì)焊和模塊式表面安裝端接
■手動(dòng)或氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)
DL 和 DS 系列隔膜閥
■ 無(wú)填料, 全金屬殼體
■ 壓力從真空至 3500 psig (241 bar)
■ 溫度從 –73 至 121°C (–100 至 250°F)
LD 系列隔膜閥
■ 工作壓力高達(dá) 300 psig (20.6 bar)
■ 開(kāi)關(guān)、散裝氣體分配以及隔離服務(wù)
■ 鑄造、鍛造及棒材不銹鋼閥體材料
■ 1/4 至 1 in.、12 至 25 mm 端接
DF 系列高流量, 無(wú)彈簧隔膜閥
■ 316L VAR 不銹鋼閥體
■ 工作壓力可達(dá) 300 psig (20.6 bar)
■ 1/4, 3/8 和 1/2 in. ；10 和 12 mm 端接
DRP 系列超高純含氟聚合物隔膜閥
■氣動(dòng)和四分之一圈手動(dòng) 2 通和 3 通型；帶有流量可調(diào)和旁通功能的氣動(dòng)型和手動(dòng)型
■改進(jìn)型 PTFE 潤(rùn)濕部件和聚丙烯執(zhí)行機(jī)構(gòu)
■符合針對(duì)超高純系統(tǒng)組件的 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) F57- 0 3 01
■細(xì)牙螺紋擴(kuò)口和 Nippon Pillar® Super 300 端接標(biāo)準(zhǔn); 可提供 Flowell, 空間節(jié)約型和其它端接
■可提供定制閥組和組件
ALD系列原子層沉積用隔膜閥
■ 高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命
■ Cv 0.27 到 0.62
■ 耐熱執(zhí)行器、耐溫高達(dá) 200°C（392°F）
■ 電子執(zhí)行器位置傳感選購(gòu)件
■ 適合采用 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的超高純應(yīng)用場(chǎng)合
■ VCR®、卡套管對(duì)焊和模塊化表面安裝端接
典型型號(hào)
零部件號(hào)：6LVV-ALD3TFR4-P-C
描述：316L VIM-VAR ALD 閥，1/4 in. 內(nèi)螺紋 VCR, SC-01, NC 耐熱執(zhí)行器
規(guī)格摘要
機(jī)體材料316L VIM-VAR
連接1規(guī)格1/4 in.
連接1類(lèi)型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭
連接2規(guī)格1/4 in.
連接2類(lèi)型內(nèi)螺紋 VCR® 金屬墊片面密封接頭
清潔工藝超高純工藝規(guī)范 (SC-01) |
